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德國OEG公司位于德國法蘭克福（Frankfurt），自1991年成立以來，OEG一直致力于開發和制造高精度的光學測量設備。OEG專注于光學、幾何和物理參數的非接觸式測量系統。
德國OEG公司提供廣泛的標準產品，基于30多年的光學計量經驗。在標準產品的基礎上，我們能夠開發快速和有效的高質量的特殊解決方案。

產品包括：
1.MTF測量儀
2.電子準直鏡
3.金剛石劃片機
4.光學檢測平臺設備
5.線寬、特征尺寸測量設備
6.晶圓平整度測量、曲率、應力測量設備
7.接觸角、自由能、表面張力SFE測量設備

德國OEG高精密測量儀器，設計緊湊、操作簡單和超高性價比。廣泛應用于光學行業、半導體行業。得到了全世界不同工業部門、科研單位、大學機構的深度認可。

MR200金剛石硅晶圓劃片機

產品介紹

1. 德國OEG MR 200精密金剛石晶圓劃片機是半導體技術中 REM 制備準確切割結構化硅晶片的理想工具。
2. MR200設備可為定義的結構化硅晶片切割提供高精度劃線，廣泛應用于半導體行業，尤其是在利用掃描電子顯微鏡（REM）觀察硅晶圓前的準備階段。
3. 高質量的光學變焦系統，為掃描區域8倍至40倍的無極放大切換提供了保證。
4. MR200還能為有需要的客戶，添加額外的光學和機械組件，以增加儀器性能及易用性。包括CCD相機，附帶測量功能的圖像處理系統，以操作臺位移測量系統。
5. MR200廣泛應用于半導體芯片行業。得到了全世界工業部門、科研單位、大學機構的深度認可。

產品特性

數字測量

1、100 / 200mm橫向移動。25mm微測計可以用數字測微計量計替代。
2、可選的數字計量計測量范圍100 / 200mm，讀數10μm，這個選項能實現精準的劃線距離可以與90°旋轉的晶片夾相連，實現精準的劃線，只有精定可以擴展到100mm代替25mm、100mm和200mm數字計量計在結構上不同，當100mm數字計量計通過粗定位不能測量時，200mm將被使用,因為機械施力更高，MR200可以擴展到500mm機械寬度。

相機適配器升級套裝

1、CCD相機適配器升級套裝由顯微鏡組建群構成。此外，相機和用于圖像處理的顯示器
或PC是必不可少的，客戶能自行選擇。

彩色視頻系統

1、USB 2.0 CCD相機
2、一體化計算機
3、圖像處理軟件
4、與相機適配器相連的升級套裝能通過目鏡和顯示器同時監測顯微鏡圖像
5、相機圖像由顯示器播放視頻
6、圖像格式JPG或BMP，可以存儲、加載和文字
7、十字標線、柵格和標尺
8、可測量：距離、角度、半徑、范圍、長度

線寬測量
1、圖像處理軟件另一個擴展工具是線寬的測量，這個模塊用于半導體行業高精度的寬度和距離的測量。測量是通過圖像的灰度值分布實現。不需要手動設定標記。

MR200基本配置

1、MR200不配備顯微鏡和光源，客戶可以自己使用自己的相關組件。顯微鏡必須有一個70mm的工作距離。
氣動電源發生器

1、電磁鐵驅動電源，如果這種方式電力不足，可采用氣動電源。
2、精確的劃線，容易的操作：晶片被裝載定位后，顯微鏡聚焦在晶片表面，通過手動驅動工作臺的X 和 Y方向移動。
3、劃線能調節到參考的標記或樣品的指定位置。高質量的變焦顯微鏡能快速改變距離，實現樣品的整體視圖詳細監測。
4、通過工作臺的X / Y方向微調功能，能實現精確定位。
5、金剛刀的著陸點是可調的。目鏡或顯示器的十字標線能確定金剛刀的著陸點，通過腳踏開關控制升降。因此金剛刀的移動可以通過雙手控制。