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ECOPIA公司的HMS系列霍爾效應測量系統主要由恒電流源、范德堡法則終端轉換器、低溫(77K)測量系統及磁場強度輸入系統組成，擁有研究半導體材料霍爾效應所有的部件和配置，是一套非常成熟的儀器系統。同時 HMS 系列儀器獲得多項霍爾效應測量系統、測量方法的專利，代表了霍爾效應測量的全球品質及合理的產品價格，并為全球客戶所認可。 該產品2004年7月通過認證。
產品經理：程經理 Alex
聯系方式：13544211358
郵箱：visec@sz-gmd.com
品牌介紹
Ecopia公司是半導體測試設備的領先公司之一，生產“霍爾效應測量系統”探針站”、“RTA(或RTP)“LED測試儀”、“機械手”等。而且，這些設備基本上用于測試半導體芯片的電氣、熱學和光學特性。
產品介紹
韓國Ecopia霍爾效應測量系統主要用于研究半導體材料/光電材料的電學特性，可以測量材料在不同溫度、磁場下的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數及載流子類型。
Ecopia 的 HMS 系列由恒流源、Van der Pauw 技術端子轉換系統、低溫 （77K） 測試系統和磁通密度輸入系統組成。因此，它是一個成熟的系統，具有霍爾效應測量系統所需的一切。
產品優勢
1、 可靠的精度及重現性
恒電流源(1nA~20mA)采用六級電流范圍設置，將可以接收的誤差降到最低；范德堡法則轉換使用非接觸裝置有效降低儀器噪聲；軟硬件有針對性的設計，確保每個實驗數據均為多次測試的平均值，使儀器擁有非常好的數據重現性。
2、 產品小型化及操作簡單化
小尺寸的磁場強度輸入系統使用永磁體 0.51T 和液氮低溫測量系統(77K)，確保儀器操作非常簡單；兩種不同尺寸的傳統樣品板(20*20mm、5*5mm)及帶彈簧夾片的樣品板(SPCB)，使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測量，區別于傳統樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極制作更方便且對樣品損傷更小。
3、 I-V 曲線及 I-R 曲線測量
采用圖表的方式，測量探針四點(A、B、C、D)間電流-電壓及電流-電阻關系，并以此評判樣品的歐姆接觸好壞、了解樣品的基本的電學特性。
4、 多樣的實驗結果
實 驗 結 果 由 軟 件 自 動 計 算 得 到 ， 可 同 時 得 到 體 載 流 子 濃 度 (Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet
Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、 電阻率(Resistivity)、霍爾系數(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)、 電阻的縱橫比率(Vertical/Horizontal
ratio of resistance)等等以及隨溫度變化曲線。
型號與技術規格
樣品固定方式：彈簧探針或引線治具
溫度：70~730K；80~580K；70~580K；80~730K；室溫~730K（可選）
磁場：5000Gauss永磁鐵，5000Gauss電磁場， 1.4T電磁場（可選）
溫度穩定度：<=0.05K
溫度響應：1K/sec
致冷片：10X14 mm
電阻率：10-6~1013 Ohm*cm
載流子遷移率：10-2~109 cm2/volt*sec
載流子濃度：102~1022cm-3
電流范圍：0.1 pA~10mA
電壓范圍：+/-2.5V，最小可測到6X10-6 V
電阻范圍：10 m Ohms~ 10G Ohms
常用型號：HMS3000， HMS5000
HMS-3000
HMS-5000
應用領域
1、半導體材料研究：用于半導體材料的電學特性研究，幫助研究人員了解半導體材料的載流子濃度、遷移率等參數，對于半導體器件的設計、制造和性能優化具有重要意義。可測量 Si、SiGe、SiC、GaAs、InGaAs、InP、GaN 等多種半導體材料27。
2、光電材料研究：在光電材料領域，可分析材料的光電性能，如通過光霍爾效應測量研究材料的載流子濃度、遷移率等參數隨光源強度的變化，為光電材料的研發和應用提供數據支持10。
3、高校科研教學：是高校物理、材料科學等相關專業科研和教學的重要工具，幫助師生進行實驗教學和科學研究，培養學生的實驗技能和科研能力
4、電子器件制造：在電子器件制造過程中，可用于對晶圓等電子器件的電學性能進行檢測和質量控制，確保器件的性能符合要求3。
5、材料科學研究：用于研究各種材料的磁學和電學特性，為材料科學的研究提供重要的實驗數據和技術支持。