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測量原理：當指定波長范圍的光照射到薄膜上時，從不同界面上反射的光相位不同，從而引起干涉導致強度相長或相消。而這種強度的振蕩是與薄膜的結構相關的。通過對這種振蕩擬合和傅里葉變換就可獲得樣品厚度和相關的光學常數。
產品經理：程經理 Alex
聯系方式：13544211358
郵箱：visec@sz-gmd.com
美國Semiconsoft.Inc公司成立于2001年，其使命是使薄膜厚度測量和n&k的數據分析對用戶來說變得簡單透明。TFCompanion 軟件使工程師能夠導入橢圓偏振儀、反射率、透射率和成像橢圓偏振儀數據并快速分析。
TFCompanion 是唯一支持從各種薄膜測量系統導入測量數據的軟件。對數據的一致分析有助于系統鑒定。它還有助于確定哪種系統配置最適合特定應用程序。TFCompanion 成為薄膜測量軟件的事實標準。
美國Semisonsoft公司MProbe系列薄膜測厚儀測量厚度可以低至1nm，厚至1.8mm，埃級分辨率，非接觸式無損快速測量。廣泛應用在各種生產或研究中，比如測量薄膜太陽能電池的CIGS層，觸摸屏中的ITO層等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。
測量原理：當指定波長范圍的光照射到薄膜上時，從不同界面上反射的光相位不同，從而引起干涉導致強度相長或相消。而這種強度的振蕩是與薄膜的結構相關的。通過對這種振蕩擬合和傅里葉變換就可獲得樣品厚度和相關的光學常數。
產品介紹
MProbe膜厚測量儀操作簡單，只需一鍵操作即可獲得樣品的厚度、折射率（n, k）和表面粗糙度等信息，膜厚測量設備可支持不同光譜范圍，光譜范圍可達200-1700nm，因此可測量厚度范圍可從1nm到2mm。 設備中無移動組件，所以測量結果幾乎是即時得到的；TFCompanion測量軟件使得測量過程非常簡單且透明，測量歷史、動態測量、模擬、顏色分析、直接在樣品圖像上顯示結果。
產品系列：
1
單點膜厚測量——MPROBE-20
2
單點手持膜厚測量——MPROBE HC
3
聚焦光斑膜厚測量儀——MPROBE 40
4
原位測量膜厚測量儀——MPROBE 50 INSITU
5
支持Mapping的聚焦膜厚測量儀——MPROBE 60
6
在線膜厚測量儀——MProbe 70
Mprobe 20-單點薄膜測量儀
MProbe 20是一款桌面式單點薄膜厚度測量系統，只需點擊鼠標就可進行薄膜厚度和折射率測量，測量厚度范圍1nm-1mm。MProbe 20可對多層膜層進行測量。
不同的MProbe 20主要由燈源的波長范圍、光譜儀的波長范圍和分辨率來區分，這也決定了可以測量的材料的厚度范圍和類型。
MProbe 20基于光譜反射率測量，具有快速、可靠、無損等特點
配置：
- 控制器(包括光譜儀、光源、光控制器、微處理器)
- SH200A樣品臺，帶對焦鏡頭，可微調
- 光導纖維反射探頭
- TFCompanion -RA軟件、USB適配器(授權密鑰)、USB記憶棒附帶軟件發行、用戶指南等資料
- 根據型號和黑色吸收體的不同，校準裝置(裸硅片和/或石英板和/或鋁鏡)
- 測試樣品200nm的氧化硅或PET薄膜，視型號而定
- USB或LAN線(用于連接主機和PC)
- 24VDC電源適配器(110/220V)
- 精度:<0.01nm或0.01%(在200nm的氧化物上測量100次)
- 精度:<1nm或0.2%(依賴于filmstack)
- 穩定性:< 0.02nm或0.2%(每天測量20天)
- 光斑大小:< 1毫米
- 樣本尺寸:>= 10mm
選型列表：
MProbe 20
波長范圍
厚度測量范圍
Vis
400 -1100nm
10nm – 75 μm
VisHR
700-1100nm
1um-300um
UVVISSR
200 -1100nm
1nm -50μm
NIR
900-1700nm
100nm – 100μm
VISNIR
700-1700nm
10nm-200μm
UVVISNIR
200-1700nm
1nm -200μm
MProbe 20 HC（彎曲表面）-手持式膜厚測量儀
手持式膜厚測量儀-MProbe 20 HC（彎曲表面）基于MProbe 20 平臺可以輕松測量曲面和大型零件的薄膜厚度，MProbe 20 具有專為單層和雙層應用優化的數據分析算法。它還使用手動探針代替樣品臺。手動探頭通過光纖電纜連接到測量單元。這為在任何位置的彎曲和大表面上測量厚度提供了靈活性。一些應用實例包括：抗紫外線和頭燈，保險杠，尾燈蓋的硬涂層，防霧涂層上的透鏡和其他表面在汽車制造在眼鏡鏡片上進行加工和鍍膜。標準手動探頭用于測量 20mm 或更大的零件。可以使用定制探頭測量小至 10mm 區域的涂層厚度。對于較小或圓形/圓柱形零件的厚度測量，我們推薦MProbe 40 MSP系統。測量特點：
- 支持底漆或界面 (IPL) 層
- 曲面和/或大型零件的厚度測量
- 可以測量有色產品，校正背面反射
- 材料：500多種擴展材料數據庫
- 一鍵可靠測量
規格指標：
精度
0.01nm或0.01%
準確度
0.2%或1nm
穩定性
0.02nm或0.03%
聚焦點尺寸
0.2mm或0.4mm
樣品尺寸
>20mm
厚度范圍
0.05-70um
波長范圍
400-1000nm
MPROBE 40 MSP-微小區域薄膜厚度測量儀
MProbe 40 測量薄膜厚度和折射率單擊鼠標在小地方。顯微分光光度計 (MSP) 集成在系統中同時結合顯微鏡，用于小點薄膜厚度測量。微小區域薄膜厚度測量儀-MPROBE 40 MSP用于數千種應用程序，并提供完整的標準模型系列來支持它們。微小區域薄膜厚度測量儀-MPROBE 40 MSP可以快速可靠地測量 1 納米到 2 毫米的厚度，包括多層薄膜堆疊。不同的模型主要由光譜儀的波長范圍和分辨率來區分，這反過來又決定了可以測量的厚度范圍。規格指標：
精度
0.01nm或0.01%
準確度
0.2%或1nm
穩定性
0.02nm或0.03%
聚焦點尺寸
0.2mm或0.4mm
樣品尺寸
>20mm
厚度范圍
0.05-70um
波長范圍
400-1000nm
選型列表：
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MProbe 40 |
波長范圍 |
厚度范圍 |
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VIS |
400nm -1100nm |
10nm – 75 μm |
|
UVVISSR |
200nm -1100nm |
1nm -75μm |
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VISHR |
700nm-1100nm |
1μm-400μm |
|
NIR |
900nm-1700nm |
50nm – 85μm |
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UVVisF |
200nm -1700nm |
1nm – 85μm |
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UVVISNIR |
200nm-800nm |
1nm -5μm |
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NIRHR |
1500nm -1550nm |
10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si) |
MPROBE 50 INSTE – 實時厚度監測儀
用于測量薄膜厚度和 n&k（光學常數）的原位實時光學厚度監測器。該系統可以在高環境光環境下工作，因為它使用的是門控數據采集。 在寬帶 （UV-NIR） 波長范圍內進行精確測量時，可使用高強度閃光燈 Xe 燈。
MProbe 50 系統是完全可定制的，以支持不同的真空室幾何形狀。根據可用的光學端口，可以使用斜入射或法向入射。光可以聚焦在樣品表面或準直。 反射探頭可以放置在沉積室光學端口外部或內部（使用光纖饋通）。
MProbe 50 系統沒有活動部件。典型測量時間 ~ 10ms。 可以快速可靠地測量任何半透明薄膜。
測量特點：
- 原位薄膜厚度和 n&k 測量
- 用于在高環境光環境下進行測量的選通數據采集
- 材料： 500+ 擴展材料數據庫
- 連續、快速、可靠的測量
- 靈活的配置 – 完全定制以匹配儲藏室的幾何形狀
MPROBE 60 薄膜測量系統（小光斑和映射）
MProbe 60是一個完整的交鑰匙系統，專為研發中心和小型制造而設計。它將測量厚度/n&k的能力與映射自動化和小點測量相結合。MProbe 60被全球領先的研發/納米技術中心使用。可以快速可靠地測量 1nm – 2mm 的厚度，包括多層薄膜堆棧。不同的 MProbe 40 型號主要受光譜儀的波長范圍和分辨率的影響，而光譜儀的波長范圍和分辨率又決定了可以測量的厚度范圍。
測量特點：
- 具有靈活和模塊化的分布驗證自動化的交鑰匙系統
- 精度：無與倫比的精度 <0.01nm 或 0.01%
- 材料： 500+ 擴展材料數據庫
- 軟件：用戶友好且功能豐富的 TFCompanion 軟件甚至可以處理最復雜的應用程序。層數沒有限制，支持背面反射、表面粗糙度、暗淡度等等。集成的攝像頭和成像軟件允許精確定位測量位置并直接在圖像上顯示結果
- 經濟實惠：無與倫比的性價比
- 主機（包括光譜儀、光源）
- 帶有電動測繪臺和控制器的堅固平臺
- z 軸電動載物臺上的顯微鏡管或帶標準鏡頭的支架（取決于配置）
- 光纖反射探頭
- TFCompanion -RA 軟件、USB 加密狗（許可證密鑰）、帶軟件分發的 USB 記憶棒、用戶指南和其他資料
- 校準集（裸硅晶片和/或石英板和/或鋁鏡），具體取決于型號和黑色吸收器
- 測試樣品 200nm 氧化硅或 PET 薄膜，具體取決于型號
- USB 電纜和 24VDC 電源適配器 （110/220V）
規格指標：
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精度 |
<0.01nm 或 0.01% |
| 準確度 |
<1nm 或 0.2% |
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穩定性 |
< 0.02nm 或 0.2% |
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光斑尺寸 |
4 μm 至 200 μm |
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樣品尺寸 |
最大 300 mm |
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映射臺 |
0.5 μm 分辨率，1 μm 可重復性 |
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Z 軸 |
0.25 μm 分辨率，0.5 μm 重復精度 |
選型列表：
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MProbe 60 |
波長范圍 |
厚度范圍 |
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VISLX |
400nm -1000nm |
10nm – 75μm |
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UVVisSR |
200nm-1000nm |
1nm-75μm |
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UVVisF |
200nm-900nm |
1nm – 5μm |
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VISHR |
700nm -1100nm |
1μm – 400μm |
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NIR |
900nm-1700nm |
50nm -100μm |
|
VISNIR |
400nm -1700nm |
10nm-100μm |
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UVVISNIR |
200nm-1700nm |
1nm-100μm |
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NIRHR |
1530nm-1580nm |
25μm-2000μm |
MPROBE 70-在線薄膜厚度實時測量儀
MPROBE 70-在線薄膜厚度實時測量儀是一種高性能厚度測量系統。在線薄膜厚度實時測量儀-MPROBE 70基于光譜反射率和/或透射率測量，專為產線的連續測量而設計。一些示例包括卷對卷生產中的卷材測量（薄膜和涂層的厚度）、建筑玻璃生產（反射率、透射率和顏色坐標）、軋制金屬板（油或涂層厚度）等等。我們的厚度測量系統有效地測量薄膜和厚片，具有多層分辨力；透明、彩色和有色薄膜；有機或水性涂料和粘合劑。在線薄膜厚度實時測量儀-MPROBE 70與其他聚合物（如 PR、PP 和離聚物）同時測量阻隔膜（如尼龍、EVOH 或 PVD）的厚度。聚合物、玻璃、金屬、塑料、半導體和其他無孔材料上的涂層厚度。
配置：
- 與PC或PLC集成
- TCP-IP (1Gb) 快速可靠的通信
- 針對應用需求定制的系統配置
- 不同型號取決于波長、厚度范圍和測量速度
- 固件嵌入式數據分析選件（內置 TFC）可實現超快速測量
- 在指定波長范圍內測量反射和/或透射光譜
- 可選參數測量
應用領域
- 汽車零部件涂層
- 光刻膠
- 醫療注射器
- 醫療支架
- 醫療球囊導管
- 醫療水凝膠膜厚
- 丙烯酸涂層
- 聚酯涂層
- PCBA涂層
- 聚對二甲苯涂層
- LED異質結構
- OLED厚度
- 氧化物厚度和色散