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品牌介紹

• 發展歷程：PRECITEC 公司于 1971 年在德國巴登巴登建立，最初是一家小型工程辦公室，經過多年發展，現已成為一家全球性的激光技術和 3D 測量技術運營公司。
• 企業地位：PRECITEC 是激光技術和光學計量領域組件和系統解決方案開發和制造的全球創新和市場領導者，在國際市場上活躍了數十年，通過子公司在全球 22 個國家和地區設有子公司和代表處，與重要市場的客戶保持密切聯系。
• 經營理念：創新、以客戶為中心、CAN-DO 態度、團隊精神和社會責任構成了其作為可靠和長期業務合作伙伴的核心支柱，注重可持續和獨立發展。

產品介紹

1、點傳感器

• CHRocodile2S：新的 CHRocodile2 系列傳感器，配置了自動光源控制裝置，集成高性能電子器件、高速以太網接口、高強度白光 LED 和高靈敏度的探測器，可實現最高 66kHz 的測量速度，能以極高的精度和復現性完成非接觸式的距離、形貌和厚度測試，可勝任對復雜幾何形狀以及具有不同反射率、粗糙度和折射率材料的測量任務，針對最小厚度 50μm 的薄膜，可使用其光譜共焦波段進行測量。

• CHRocodile2SH：該傳感器可在光譜共焦和干涉模式下輕松切換，以此來實現諸如透明塑料和多層膜等更多的測量可能性，針對 2μm-120μm 的透明薄膜，可使用白光干涉波段進行測量。
• CHRocodile2ITH：高精度同軸干涉點傳感器，可以實現距離和厚度的非接觸式測量，測量范圍高達 12,600μm，納米級別的分辨率使其適用于在諸如晶圓這樣的微結構上的測量，可為粗糙、摻雜和高摻雜的晶圓，半透明和不透明的塑料，玻璃，涂層和粘結劑等紅外透明材料提供質量監控，針對最低 1.5μm 的半透明或多層薄膜，可使用紅外干涉波段進行測量。

      Precitec EnovaSense 激光光熱傳感器可對任何類型的涂層和基材材料進行精確而穩定的厚度測量，包括擴散涂層或反射涂層、平面涂層或曲面涂層、粗糙涂層或拋光涂層等，以及任何表面，如鏡面、未加工金屬面、陶瓷或粘合劑表面。可測量的厚度范圍從納米到毫米，且多年來保持亞微米級測量穩定性。在半導體行業，可對各個工藝制程中的單層或多層不透明的薄膜厚度進行檢測，如典型的硬掩膜 TiN 或 TaN，還可實現低于 0.5% 無定形碳上的硬掩膜厚度的重復性，也可以測量大約 50μm 的 Ag 和 Ni 層、非常薄的約 50nm 的 Cu 或 Sn 層，以及沉積在半導體元件后端的環氧樹脂或聚合物包裝涂層、核心半導體和電介質層如 SiC、氧化物、SOI 層等。

3、飛點掃描儀：

      超快速飛點掃描儀（FSS）310，用于在更短的周期內對半導體晶圓進行彎曲度、翹曲度、TTV（總厚度變化）和質量檢測。其特點包括靈活高效的掃描軌跡、測量 12 英寸晶圓的能力以及納米范圍內的 Z 分辨率。該掃描儀將 OCT 與寬視場掃描相結合，在寬視場內靈活且快速移動的測量點可實現非接觸式的 ROI（感興趣區域）檢測，大大縮短了周期時間，且不影響精度，掃描區域為 310mm，可測量整個 12 英寸晶圓的 TTV、彎曲和翹曲，并在單次掃描中檢測任何空隙，對于標準應用，每個晶圓只需 10 秒即可完成，可實現每小時超過 300 個晶圓的吞吐量，當與 Precitec CHRocodile 2 IT 系列的設備結合使用時，其完全可變掃描軌跡能夠測量例如硅、摻雜硅、砷化鎵和碳化硅晶圓的厚度和距離，還可以測量半導體元件涂層的厚度，以及在進一步加工之前測量晶圓上單個芯片的彎曲度。